http://ir-heat-element-corp.com/de/tags/kompatibel/ Recent content in Kompatibel on Infrared Heat Element Corporation Hugo de Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/de/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/de/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Vakuumkompatibler Infrarotheizer"></p> <p><strong>Energieeinsparung bei der Halbfertigproduktion: Die <a href="https://henruite.com">Wahrheit</a> über Infrarotheizungen</strong><br> Wenn wir tatsächlich die Ziele zur Kohlenstoffneutralität in den Halbleiterfabriken erreichen wollen, müssen wir aufhören, so viel Energie während des Erwärmungsvorgangs zu verschwenden. Lange Zeit wurden dabei klassische Widerstandsheizungen verwendet. Doch diese Heizungen sind ineffizient.</p> <p>Wir haben stattdessen auf vakuumkompatible Infrarotlampen umgestellt. Anstatt die gesamte Vakuumkammer zu erhitzen – was eine enorme Energieverschwendung darstellt – richten diese Lampen ihre Wärme direkt auf das Wafer. Einfach.</p> <p><strong>Wie es im Vakuum funktioniert</strong><br> In einem Vakuum verhalten sich physikalische Prozesse anders – die Konvektion verschwindet einfach. Es bleibt nur noch die Strahlung übrig. Wir entwickeln unsere Infrarotlampen so, dass sie Kurzwellenstrahlung abgeben. Diese Strahlung dringt direkt in das Zielmaterial ein, ohne dass Energie für die Erwärmung der Wandungen der Kammer oder des darin befindlichen Gases verschwendet wird. Dadurch wird der gesamte Prozess effizienter.</p>