Trocknungslampe für OLED Herstellung

Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800

On the OLED line, drying isn’t a pause. It’s a control point.

Wafer kommen nach dem Spülen heraus und benötigen vor der Lithografie eine stabile Oberflächentemperatur. Wird der Lack unzureichend getrocknet, entstehen Randwulste, was zu einem Verschieben der Overlay-Justage führt. Ungleichmäßiges Backen führt zu einer Streuung der Linienbreitenverteilung – die Ausbeute leidet. Unsere Infrarot-Trocknungslampen wurden entwickelt, um diese Variabilität im Prozess auszuschalten.

Was technisch relevant ist
Wir verwenden kurzwellige Infrarot-Emitter mit schnell reagierenden Heizdrähten und Quarzoptiken, die Energie direkt in die Lackschicht einbringen. Das System hält die Temperaturgleichmäßigkeit auf Waferniveau innerhalb von ±0,1°C über das Backfeld, sodass das thermische Budget von Charge zu Charge konstant bleibt.
Softbake-Profile sind in einem engen Toleranzfenster reproduzierbar, und Hardbake-Übergänge erfolgen sauber ohne Überschwinger. Reinraumtauglichkeit ist integriert: Materialien mit geringen Ausgasungen, geschlossene Gehäuse und kontrollierte Luftstromwege minimieren die Partikelbildung nahezu auf Null.

OLED on Infrared Heat Element Corporation

Trocknungslampe für OLED Herstellung

On the OLED line, drying isn’t a pause. It’s a control point.