Präziser IR Sensor für Wafer

Fri, 24 Jul 2026 11:46:02 +0800

Warum wir bei der Waferverarbeitung auf gezwungenes Luftheizen verzichten
Wer bereits Erfahrung in der Halbleiterverarbeitung hat, kennt die Frustration, die damit einhergeht – insbesondere das Warten darauf, dass das Wafer durch heiße Luft die richtige Temperatur erreicht.

Das Problem ist: Gezwungenes Luftheizen ist einfach zu langsam. Man bläst schließlich nur heiße Gase umher und hofft, dass diese effektiv auf das Wafer übertragen werden. Dadurch entsteht eine lästige Zeitverzögerung, die den Arbeitsablauf beeinträchtigt.

Dagegen nutzt das IR-Heizen elektromagnetische Strahlung, um direkt auf das Wafer einzuvirken. Es ist wie der Unterschied zwischen dem Versuch, sich die Hände mit einer warmen Brise zu erwärmen, und dem Stehen direkt vor einem Lagerfeuer.

Präzisions Infrarotheizung für Elektronik

Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800

Auf dem Fertigungsboden führt ein Softbake bei 90°C mit einer Abweichung von ±0,5°C zu einer Verschiebung der CD-Uniformität und mindert die Ausbeute. Die Temperatur ist kein Hintergrundregler – sie bestimmt das Verhalten des Fotolacks, dessen Haftung und ob das Muster im weiteren Prozess stabil bleibt. Wenn die Temperaturregelung schwankt, fällt das schnell auf: Defekte bei der Inspektion und steigender Nacharbeitsaufwand.

Was unter der Haube zählt
Wir haben den Präzisions-Infrarotheizer auf Basis von NIR-Quellen entwickelt, die Energie direkt in den Silizium- und Fotolackaufbau einbringen. Über die Backfläche streben wir eine Wafer-Uniformität von ±0,1°C an, und der Sollwert erreicht in Sekunden, nicht in Minuten, den stabilen Zustand. Reinraumklasse 1–100 wird durch emissionsarme Materialien und ein partikelführendes Design unterstützt, das im stabilen Betrieb keine Partikel erzeugt. Der Regler hält das thermische Budget sauber ein und bietet eine Reproduzierbarkeit, die sich mit statistischer Prozesskontrolle gut verträgt.

Präzision on Infrared Heat Element Corporation

Präziser IR Sensor für Wafer

Präzisions Infrarotheizung für Elektronik