Billige Wafer Trocknungs Lampenbirne

Fri, 19 Jun 2026 06:06:42 +0800

Auf der Herstellungsfläche reicht bereits ein einziger Schritt bei der Trocknung aus, um die Qualität der gewonnenen Wafer zu beeinträchtigen. Die Temperaturgleichmäßigkeit leidet, das Spektrum des Photoresists verändert sich – dadurch sinkt auch die Ertragsrate. Wir haben diese kostengünstige Lampe entwickelt, um solche Störungen bereits in ihren Anfängen zu verhindern.

Was technisch wichtig ist: Es handelt sich um eine NIR-Lampe mit einem stabilen Quarzkörper sowie einem passenden Filament. Dadurch bleibt die Leistung konstant während des Trocknens der Wafer sowie bei den verschiedenen Schritten der Bearbeitung des Photoresists. Das Spektrum der Lampe sorgt dafür, dass die Energie genau dort eingesetzt wird, wo der Photoresist sie aufnimmt – dadurch bleibt das Substrat kühl. Die Temperaturregelmäßigkeit liegt bei ±0,1°C, und die Bildung von Partikeln bleibt in Reinräumen der Klasse 1–100 vernachlässigbar. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, mit weniger als 5% Abfall.

Trocknungslampe für OLED Herstellung

Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800

On the OLED line, drying isn’t a pause. It’s a control point.

Wafer kommen nach dem Spülen heraus und benötigen vor der Lithografie eine stabile Oberflächentemperatur. Wird der Lack unzureichend getrocknet, entstehen Randwulste, was zu einem Verschieben der Overlay-Justage führt. Ungleichmäßiges Backen führt zu einer Streuung der Linienbreitenverteilung – die Ausbeute leidet. Unsere Infrarot-Trocknungslampen wurden entwickelt, um diese Variabilität im Prozess auszuschalten.

Was technisch relevant ist
Wir verwenden kurzwellige Infrarot-Emitter mit schnell reagierenden Heizdrähten und Quarzoptiken, die Energie direkt in die Lackschicht einbringen. Das System hält die Temperaturgleichmäßigkeit auf Waferniveau innerhalb von ±0,1°C über das Backfeld, sodass das thermische Budget von Charge zu Charge konstant bleibt.
Softbake-Profile sind in einem engen Toleranzfenster reproduzierbar, und Hardbake-Übergänge erfolgen sauber ohne Überschwinger. Reinraumtauglichkeit ist integriert: Materialien mit geringen Ausgasungen, geschlossene Gehäuse und kontrollierte Luftstromwege minimieren die Partikelbildung nahezu auf Null.

Trocknen on Infrared Heat Element Corporation

Billige Wafer Trocknungs Lampenbirne

Trocknungslampe für OLED Herstellung

On the OLED line, drying isn’t a pause. It’s a control point.