Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800

Energieeinsparung bei der Halbfertigproduktion: Die Wahrheit über Infrarotheizungen
Wenn wir tatsächlich die Ziele zur Kohlenstoffneutralität in den Halbleiterfabriken erreichen wollen, müssen wir aufhören, so viel Energie während des Erwärmungsvorgangs zu verschwenden. Lange Zeit wurden dabei klassische Widerstandsheizungen verwendet. Doch diese Heizungen sind ineffizient.

Wir haben stattdessen auf vakuumkompatible Infrarotlampen umgestellt. Anstatt die gesamte Vakuumkammer zu erhitzen – was eine enorme Energieverschwendung darstellt – richten diese Lampen ihre Wärme direkt auf das Wafer. Einfach.

Wie es im Vakuum funktioniert
In einem Vakuum verhalten sich physikalische Prozesse anders – die Konvektion verschwindet einfach. Es bleibt nur noch die Strahlung übrig. Wir entwickeln unsere Infrarotlampen so, dass sie Kurzwellenstrahlung abgeben. Diese Strahlung dringt direkt in das Zielmaterial ein, ohne dass Energie für die Erwärmung der Wandungen der Kammer oder des darin befindlichen Gases verschwendet wird. Dadurch wird der gesamte Prozess effizienter.

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800

In einem Reinraum der Klasse 1 wird die 300-mm-Wafer auf die Heplatte gelegt. Die Eigenschaften des Photoresists werden durch die Temperatur bestimmt – und nicht durch willkürliche Annahmen. Eine Abweichung von 2°C an der Oberfläche kann dazu führen, dass die Schichten auf der Waferoberfläche verformt werden – mit dem Ergebnis, dass die Arbeit eines ganzen Wochenendes zunichte gemacht wird. Deshalb haben wir einen Infrarotheizer in die Vakuumkammer eingebaut, um diese Unsicherheiten auszuschließen.

Was wirklich wichtig ist
Der Heizer verwendet Kurzwellenquarzemitter zur Erzeugung direkter Strahlungswärme – mit einer Reaktionszeit von Millisekunden. In der aktiven Zone bleibt die Homogenität der Temperaturen bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen den einzelnen Prozessschritten liegt bei 0,05°C. Der Körper der Vakuumkammer besteht aus elektropoliertem 316L-Stahl; dadurch wird das Austreten von Gasen reduziert. Die Vakuumkammer ist außerdem für ein Vakuum von bis zu 10^-6 mbar geeignet. Durch die konstruktiven Merkmale, die für Reinräume geeignet sind, bleibt die Teilchengenerierung auf Null – selbst nach 5.000 Stunden Betrieb bei 250°C. Integrierte Pyrometrie-Systeme sowie eine geschlossene Regelung sorgen dafür, dass die gewünschten Temperaturen beibehalten werden.

Vakuum on Infrared Heat Element Corporation

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Infrarotheizer für Vakuumkammern