Calentador infrarrojo para cámara de vacío

Thu, 02 Jul 2026 08:50:53 +0800

En una sala limpia de clase 1, una oblea de 300 mm se coloca sobre la placa caliente. La sensibilidad del material fotoreactivo depende de la temperatura, y no de suposiciones. Una variación de 2 °C en la superficie puede afectar negativamente el proceso de litografía, arruinando todo el trabajo realizado durante una semana. Por eso construimos un calentador por infrarrojos dentro de la cámara de vacío, para eliminar esa incertidumbre.

Lo que realmente importa El calentador utiliza emisores de cuarzo de onda corta para generar calor radiante directo, con una respuesta en milisegundos. En toda la superficie activa, la uniformidad térmica se mantiene en ±0.1 °C, mientras que la repetibilidad entre diferentes ciclos es de 0.05 °C. El cuerpo de la cámara está hecho de acero inoxidable 316L electropulido, lo que reduce las emisiones gaseosas. La cámara puede funcionar a un vacío de hasta 10^-6 mbar. Su diseño compatible con salas limpias asegura que no haya generación de partículas, incluso después de 5,000 horas de funcionamiento a 250 °C. La pirometría integrada y el control en bucle cerrado mantienen la temperatura estable durante los procesos de calentamiento.

Cámara on Infrared Heat Element Corporation

Calentador infrarrojo para cámara de vacío