دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را در دمای بالا قرار دهید؛ روش بهتری برای کنترل جریان حرارت وجود دارد.
در کارخانههای تولید تراشه، مشکلی مداوم وجود دارد: لازم است ویفر را در دمای بالا نگه داریم، اما نمیخواهیم کل دستگاه به یک فر تبدیل شود.
اکثر لامپهای مادون قرمز، حرارت را در همه جهات پخش میکنند؛ این کار باعث هدررفت انرژی میشود. علاوه بر این، دیوارههای داخلی دستگاه نیز به عنوان منابع گرما عمل میکنند. اگر تا به حال شده است که کارکنان در حین تعمیرات دست خود را بسوزانند، چون بدنه دستگاه گرمای زیادی تولید میکند، متوجه منظورم خواهید شد.
راهحل ما؟ استفاده از لامپهای کوارتزی که روی آنها لایه طلا وجود دارد.
نحوه کارکرد این لامپها
میتوانید لایه طلا را مانند یک آینه در نظر بگیرید؛ این لایه، انرژی مادون قرمز را به جای بازگشت به داخل بدنه دستگاه، به سمت جلو پرتاب میکند. در نتیجه، حرارت صرفاً به سمت ویفر اعمال میشود. این روش، اثر «فر» در داخل دستگاه را از بین میبرد. شما همچنان میتوانید سرعت بالایی برای گرم کردن ویفر داشته باشید، اما بقیه قطعات دستگاه همچنان سرد باقی خواهند ماند. این روش، روشی بسیار بهتر برای کار کردن است.
مزایا و معایب
البته این لامپها جادویی نیستند؛ آنها از لولههای کوارتزی با توان بالا برای رسیدن به دماهای مورد نیاز استفاده میکنند. از آنجایی که حرارت به سمت جلو پرتاب میشود، خود لامپ نیز میتواند بسیار داغ شود. بنابراین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده شما برای توان مورد نیاز مناسب هستند. اگر جریان هوا کافی نباشد، ممکن است کوارتز نرم شود یا الکترودها از بین بروند.
نکات مهم برای نصب
هنگام نصب این لامپها، تنظیم دقیق موقعیت آنها بسیار مهم است. اگر لامپ چند درجه از موقعیت صحیح خارج شود، حرارت به جای ویفر، به دیوارههای داخلی دستگاه اعمال خواهد شد. از براکتهای دقیق برای نصب لامپها استفاده کنید؛ نباید فقط به طور تخمینی عمل کرد.
خبر خوب این است که این لامپها میتوانند جایگزین لامپهای قدیمی شما شوند. و از آنجایی که حرارت بیشتری در یک نقطه متمرکز میشود، ممکن است بتوانید میزان خنککنندههای خارجی را کاهش دهید.
یک نکته آخر: لایه طلا روی لامپها را تمیز نگه دارید. چند اثر انگشت یا کثیفی روی سطح لامپ، میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود؛ این امر میتواند عمر لامپ را کوتاه کند. لایه طلا را تمیز نگه دارید، تا لامپ به خوبی کار کند.