http://ir-heat-element-corp.com/fa/tags/%D9%84%DB%8C%D8%AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C/ Recent content in لیتوگرافی on Infrared Heat Element Corporation Hugo fa Sat, 27 Jun 2026 04:55:35 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:55:35 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/fa/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="لامپ فر لیتوگرافی نیمههادی"></p> <p>در خط تولید، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در طول فرآیند گرم کردن فوتورزیست، می‌تواند باعث شود که کل محموله مورد نظر به ضایعات تبدیل شود. شما به گرمایی نیاز دارید که قابل کنترل باشد؛ یعنی گرمایی که رفتار پیش‌بینی‌پذیری داشته باشد.</p> <p><strong>چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟</strong> لامپ‌های استفاده شده در دستگاه‌های لیتوگرافی، نور مادون قرمز با طول موج کوتاه را تولید می‌کنند؛ این نور در همان ناحیه‌ای که فوتورزیست جذب می‌شود، تابش پیدا می‌کند. به این ترتیب، گرمایش سریع و یکنواختی روی سطح وجود دارد. یکنواختی دما در کل منطقه گرمایشی، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد دستگاه نیز در هر بار تولید، یکسان است.</p>