http://ir-heat-element-corp.com/fa/tags/%D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%85%DA%A9%D8%A7%D9%86%DB%8C%DA%A9%D8%A7%D9%84-%D8%B3%DB%8C%D8%B3%D8%AA%D9%85%D9%87%D8%A7-mems/ Recent content in میکروالکترومکانیکال سیستمها (MEMS) on Infrared Heat Element Corporation Hugo fa Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/fa/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/fa/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="هیتر مادون قرمز ساخت MEMS"></p> <p>در خط MEMS، تغییر دما تنها یک پارامتر نیست—بلکه عامل کاهش بازده است. در لیتوگرافی، اگر دمای soft bake یا hard bake حتی به اندازه کسری از درجه تغییر کند، ابعاد بحرانی روی ویفر پخش می‌شود و دستگاه‌ها قبل از خروج از مسیر کار ضایعات می‌شوند. ما گرم‌کن مادون قرمز خود را برای همین واقعیت ساخته‌ایم.</p> <p>مهم، ارائه حرارت پایدار و تمیز است. آرایه تابشگر مادون قرمز کوتاه‌موج ما انرژی را مستقیماً و سریع به ویفر می‌رساند تا تأخیر حرارتی حداقل بماند. در کل منطقه داغ، یکنواختی ویفر در سطح ±0.1°C حفظ می‌شود، بنابراین هر <a href="https://o-yate.com">baked</a> رزین حساس به نور، دقیقاً در بودجه حرارتی قرار می‌گیرد و از نوسان در لبه‌ها جلوگیری می‌شود.</p>