http://ir-heat-element-corp.com/fa/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Infrared Heat Element Corporation Hugo fa Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/fa/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/fa/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="هیتر مادون قرمز محفظه خلأ"></p> <p>در اتاق‌های تمیز درجه ۱، ویفرهای ۳۰۰ میلی‌متری روی صفحات گرم قرار می‌گیرند. میزان حساسیت فوتورزیست نیز تحت تأثیر دماست؛ نه تصورات ذهنی. تغییر دمای ۲ درجه سانتی‌گراد می‌تواند باعث تغییراتی در لایه‌های لیتوگرافی شود و منجر به از بین رفتن محصولات تولید شده در طول یک هفته شود. ما از هیترهای مادون قرمز برای جلوگیری از این مشکلات استفاده کرده‌ایم.</p> <p><strong>چه چیزهایی مهم هستند؟</strong><br> این هیتر از اجسام ساطع‌کننده موج کوتاه کوارتز برای تولید گرمای مستقیم استفاده می‌کند؛ پاسخ این هیتر در عرض چند میلی‌ثانیه اتفاق می‌افتد. در سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند نیز در حد ۰.۰۵ درجه سانتی‌گراد است. بدنه این دستگاه از فولاد ضدزنگ ۳۱۶L ساخته شده است؛ این امر باعث کاهش گازهای زائد می‌شود. این دستگاه قادر به کار در فشار خلاء تا ۱۰^-۶ مبار است. ساختار این دستگاه به گونه‌ای است که حتی پس از ۵۰۰۰ ساعت کار در دمای ۲۵۰ درجه سانتی‌گراد، تولید ذرات زائد صفر باقی می‌ماند. سیستم کنترل این دستگاه نیز به گونه‌ای است که دما را در محدوده مشخص نگه می‌دارد.</p>