Capteur IR de précision pour wafer

Fri, 24 Jul 2026 11:46:02 +0800

Pourquoi nous abandonnons le chauffage par air forcé au profit du chauffage par rayonnement infrarouge dans le traitement des wafers
Si vous avez déjà travaillé dans le domaine du traitement des semi-conducteurs, vous connaissez bien cette frustration liée à l’attente. En particulier, l’attente que le wafer atteigne la température souhaitée grâce à de l’air chaud.

Le problème, c’est que l’air forcé est extrêmement lent. En réalité, on souffle simplement de l’air chaud autour du wafer, dans l’espoir que cette chaleur se transfère efficacement sur celui-ci. Cela crée un délai thermique ennuyeux qui perturbe le travail quotidien.

Radiateur infrarouge de précision pour électronique

Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800

Sur le plancher de fabrication, un préchauffage doux à 90°C avec une dérive de ±0,5°C affectera l’uniformité des dimensions critiques (CD) et impactera votre rendement. La température n’est pas un paramètre secondaire — elle détermine le comportement du photoresist, son adhésion, et la tenue du motif en aval. Lorsque le contrôle thermique fluctue, cela se manifeste rapidement : défauts à l’inspection et accumulation de retouches.

Ce qui compte en interne
Nous avons conçu le chauffage infrarouge de précision autour de sources NIR, injectant l’énergie directement dans le silicium et la pile de photoresist. Sur la surface de cuisson, nous visons une uniformité au niveau du wafer de ±0,1°C, et le point de consigne est atteint en quelques secondes, pas en minutes. La salle blanche Class 1–100 est prise en charge grâce à des matériaux à faible dégazage et une conception contrôlant les particules, garantissant une génération de particules nulle une fois l’état stable atteint. Le contrôleur assure une gestion précise du budget thermique, avec une répétabilité compatible avec le contrôle statistique des procédés.

Précision on Infrared Heat Element Corporation

Capteur IR de précision pour wafer

Radiateur infrarouge de précision pour électronique