Amploule bon marché pour séchage de wafer

Fri, 19 Jun 2026 06:06:43 +0800

Sur le plan de fabrication, un seul écart dans les paramètres de cuisson suffit pour dégrader l’ensemble de la production. L’uniformité de la température est affectée, le profil du photorésistant change, et le taux de réussite des procédés diminue. Nous avons conçu cette lampe à bas coût pour empêcher ces écarts dès leur apparition.

Ce qui est important sur le plan technique Il s’agit d’une lampe à lumière infrarouge, dotée d’un enveloppement en quartz stable et d’un filament adapté. Cela permet une puissance de sortie constante, quelle que soit l’étape de séchage des wafers ou de traitement du photorésistant. Le profil spectral de la lampe assure que l’énergie est concentrée là où le photorésistant l’absorbe, ce qui permet de réduire la consommation thermique tout en maintenant le substrat à une température basse. L’uniformité de la zone chaude reste inférieure à ±0,1 °C, et la formation de particules reste négligeable dans des chambres propres de classe 1–100. La puissance de sortie reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de déperdition.

Lampe de séchage pour fabrication OLED

Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800

Sur la ligne OLED, le séchage n’est pas une pause. C’est un point de contrôle.

Les wafers sortent du rinçage et nécessitent une surface stable avant la lithographie. Un sous-séchage du photoresist entraîne un boudin de bord, puis un décalage d’alignement commence. Une cuisson inégale élargit la distribution des largeurs de traits — le rendement diminue. Nous avons conçu nos lampes de séchage infrarouges pour éliminer cette variabilité du processus.

Ce qui importe, techniquement
Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes avec des filaments à réponse rapide et des optiques en quartz, injectant l’énergie directement dans la couche de photoresist. Le système maintient une uniformité de température au niveau du wafer à ±0,1°C sur le champ de cuisson, garantissant que le budget thermique reste constant d’un lot à l’autre.
Les profils de cuisson douce se répètent dans une plage étroite, et les transitions de cuisson dure sont nettes — sans dépassement. La compatibilité salle blanche est intégrée : matériaux à faible dégazage, boîtiers étanches et flux d’air contrôlés limitent la génération de particules à quasiment zéro.

Séchage on Infrared Heat Element Corporation

Amploule bon marché pour séchage de wafer

Lampe de séchage pour fabrication OLED

Sur la ligne OLED, le séchage n’est pas une pause. C’est un point de contrôle.