http://ir-heat-element-corp.com/he/tags/%D7%92%D7%9C/ Recent content in גל on Infrared Heat Element Corporation Hugo he Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/he/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/he/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="נורת אינפרא אדום בגלי קצר מבוססת חצאי מוליכים"></p> <p>במחלקת הייצור, שינוי של 0.1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של החומר – בהיקף של ננומטרים. זו אינה “טולרנציה” – זו כישלון בתהליך הייצור. עיצבנו את הנורות האינפרא-אדום בעלות הגל הקצר כדי להסיר את אי-הוודאות הזו, כך שהאחידות ברמת הוואפר תהיה מדד קבוע, ולא דבר שתלוי במזל.</p> <p>החומר הבסיסי של הנורות הוא אינפרא-אדום בעל גל קצר – חומר זה מחמם את החומר באופן אפקטיבי ומהיר, ובעל אינרציה תרמית נמוכה. קווי הפליטה של הנורות תואמים לרמת הספיגה של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נכנסת לחומר עצמו, ולא לחלקים האחרים. כך ניתן להשיג אחידות ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C, על גבי שטחי עבודה בגדלים 150/200/300 ממ. יציבות הטמפרטורה נשמרת ברמה של פחות מ-0.5°C במהלך תהליך החימום.</p>