http://ir-heat-element-corp.com/he/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Infrared Heat Element Corporation Hugo he Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/he/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/he/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="חיממן אינפרא אדום לתא ואקום"></p> <p>בחדר נקי מסוג Class 1, על לוח החימום החם מונחת שבב בגודל 300 ממ. חומר הפוטורזיסט מושפע מהטמפרטורה – ולא משיקולים אחרים. שינוי של 2 מעלות צלזיוס על פני השטח יכול לגרום לשינויים בשכבת הליתוגרפיה, ולהרוס את כל התוצאות שהושגו במשך שבוע שלם. לכן יוצרנו מערכת חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום, כדי להימנע מהערכות שגויות.</p> <p><strong>מה חשוב בתהליך החימום</strong> החימום מתבצע באמצעות גלאי קוורץ בעלי גלים קצרים, שמספקים חום ישיר; זמן התגובה הוא במילישניות. באזור הפעיל, האחידות של הטמפרטורה על פני השבב היא ±0.1 מעלות צלזיוס, והשגרתיות של החימום היא 0.05 מעלות צלזיוס. גוף החדר עשוי מפלדת אל-חלד 316L, שעבר עיבוד חשמלי כדי להפחית את פליטת הגזים; החדר מסוגל לשמור על רמת ואקום של 10^-6 מבר. המבנה של החדר מותאם לתנאי חדרים נקיים, כך שאין ייצור של חלקיקים, אפילו לאחר 5,000 שעות עבודה בטמפרטורה של 250 מעלות צלזיוס. מערכת הבקרה המשולבת מאפשרת שמירה על רמת הטמפרטורה הרצויה, ללא סטיות.</p>