http://ir-heat-element-corp.com/he/tags/module/ Recent content in Module on Infrared Heat Element Corporation Hugo he Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/he/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/he/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="מודול חימום באינפרא אדום ממוקם לפי אזורים"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.2°C במהלך תהליך החימום של החומר הפוטורזיסטנטי יכול לפגוע בשליטה בעובי הקווים, ובכך לפגוע באיכות המוצר הסופי. מכשירי חימום רגילים מנסים לשמור על אחידות בטמפרטורה ברחבי הוואף, אך עדיין יש צורך בשליטה קפדנית. חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום הוא הפתרון היעיל ביותר.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> המודול שלנו משתמש ברכיבי אינפרא-אדום שניתן לשלוט בהם באופן עצמאי, כדי לשלוט בטמפרטורה באזורים שונים של הוואף. כך ניתן לשמור על אחידות של ±0.1°C בכל חלקי הוואף. ניתן גם לשלוט בנקודת החימום בצורה מדויקת, כדי ששלבי החימום הקריטיים יתבצעו כראוי. ההרכבה של המודול מתאימה לחדרי עבודה מסוג Class 1–100: חומרים עם פליטת גזים נמוכה, אופטיקה מאוטמת, ומבנה שמפחית את החלקיקים באוויר. ניתן לצפות לאפס חלקיקים במהלך תהליך החימום, וליציבות תרמית לטווח ארוך.</p>