अपने उपकरणों को गर्म करना बंद करें: ऊष्मा-प्रवाह संभालने हेतु एक बेहतर तरीका
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया में हमेशा ही ऐसी समस्या रहती है – वेफर को गर्म करना आवश्यक है, लेकिन पूरे उपकरण को ओवन में बदलना उचित नहीं है।
अधिकांश सामान्य इन्फ्रारेड लैंप, ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं… यह बेकार है। इसके अलावा, ऐसे लैंपों के कारण उपकरण की आंतरिक दीवारें भी गर्म हो जाती हैं। यदि आपने कभी किसी तकनीशियन को रखरखाव के दौरान चोट लगते हुए देखा है, तो आप समझ जाएंगे कि मैं क्या कहना चाह रहा हूँ।
हमारा समाधान? सोने से लेपित क्वार्ट्ज लैंप।
यह कैसे काम करता है?
सोने की परत को ऊष्मा के लिए एक “दर्पण” के रूप में सोचें… इन्फ्रारेड ऊर्जा पीछे की ओर न जाकर, सीधे आगे की ओर जाती है… इस तरह उपकरण की आंतरिक दीवारें गर्म नहीं होतीं। आपको वेफर को तेज़ गति से गर्म करने की सुविधा तो मिलती है, लेकिन बाकी उपकरण ठंडे ही रहते हैं… यह तो बहुत ही बेहतर तरीका है।
जिन बातों का ध्यान रखना आवश्यक है…
ये लैंप जादुई नहीं हैं… इनमें उच्च वॉटेज वाले क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग किया जाता है… इसलिए लैंप खुद ही बहुत गर्म हो जाता है… आपको अपने कूलिंग फैनों की क्षमता का ध्यान रखना होगा… यदि आप हवा के प्रवाह को कम कर देंगे, तो क्वार्ट्ज ट्यूब खराब हो सकता है।
सही तरीके से इन लैंपों को लगाना…
जब आप इन लैंपों को लगाते हैं, तो सही संरेखण ही सबसे महत्वपूर्ण बात है… यदि लैंप कुछ डिग्री तक तिरछा हो जाए, तो वेफर नहीं, बल्कि चैंबर की दीवारें ही गर्म हो जाएंगी… सटीक संरेखण ही आवश्यक है।
अच्छी बात यह है कि ये लैंप आपके पुराने लैंपों के स्थान पर ही इस्तेमाल किए जा सकते हैं… चूँकि ऊष्मा अधिक केंद्रित होती है, इसलिए आप अपने बाहरी कूलिंग सिस्टम को कम कर सकते हैं।
एक और सलाह: सोने की सतह को साफ रखें… सतह पर थोड़ी भी धूल या उंगलियों के निशान होने से गर्म बिंदु बन सकते हैं… ऐसा होने से लैंप की उम्र कम हो जाती है… इसे हमेशा साफ रखें… तभी ही यह ठीक से काम करेगा।