http://ir-heat-element-corp.com/hi/tags/%E0%A4%95%E0%A4%95%E0%A5%8D%E0%A4%B7%E0%A4%BE/ Recent content in कक्षा on Infrared Heat Element Corporation Hugo hi Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/hi/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/hi/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="वैक्यूम चैंबर इन्फ्रारेड हीटर"></p> <p>क्लास-1 क्लीनरूम में, 300 मिमी आकार का वेफर हॉट प्लेट पर रखा जाता है। फोटोरेजिस्ट को तापमान के आधार पर ही सेट किया जाता है; कोई कल्पना या अनुमान इसमें भूमिका नहीं निभाता। सतह पर 2°C का अंतर भी सीडीओं को विस्थापित कर सकता है, लिथोग्राफी प्रक्रिया को बिगाड़ सकता है, एवं एक हफ्ते की मेहनत पर पानी फेर सकता है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु वैक्यूम चैंबर में इन्फ्रारेड हीटर लगाया।</p> <p><strong>ऑपरेशन के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> हीटर, शॉर्ट-वेव क्वार्ट्ज एमिटरों का उपयोग करके प्रत्यक्ष विकिरण ऊष्मा प्रदान करता है; इसकी प्रतिक्रिया समय कुछ मिलीसेकंड में ही हो जाती है। वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक बनी रहती है, जबकि विभिन्न बार प्रक्रिया करने पर तापमान में 0.05°C का ही अंतर रहता है। चैंबर का ढाँचा 316L स्टेनलेस स्टील से बना है; इसे वेल्ड करके गैस निकलने की समस्या को दूर किया गया है। चैंबर में 10^-6 मिबार तक वैक्यूम बना रहता है। क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन के कारण, 250°C पर 5,000 घंटे तक भी कोई कण उत्पन्न नहीं होता। इंटीग्रेटेड पायरोमेट्री एवं क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली के कारण, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान तापमान स्थिर बना रहता है।</p>