Parliamo dell’uso dei riscaldatori a infrarossi ad alta purezza per le vostre fabbriche. Costruiamo lampade a riscaldamento ad alta purezza perché sappiamo quanto possa essere complicato il processo di lavorazione dei wafer, soprattutto quando bisogna ottenere il massimo rendimento possibile. Oggi tutti cercano di adottare standard legati alla “fabbrica verde”, ma per noi è semplice: passare dal riscaldamento resistivo a quello a onde corte infrarosse è solo buon senso… in questo modo non si spreca energia inutilmente.
I problemi del metodo tradizionale
Pensate a un forno a riscaldamento resistivo: è come cercare di riscaldare un’intera casa soltanto per scaldare una tazza di caffè… si spreca tantissima energia per riscaldare le pareti del forno stesso. Le nostre lampade a alta purezza invece non fanno questo: irradiano l’energia direttamente sul substrato. Poiché l’energia viene concentrata su una lunghezza d’onda specifica, i tempi di avviamento diminuiscono. Le macchine trascorrono meno tempo in stato di inattività e più tempo effettivamente in funzione. Inoltre, l’impatto termico è molto minore.
Un avvertimento importante
La elevata densità di potenza è utile per aumentare la velocità di lavoro, ma rappresenta anche una forte sollecitazione per le fonti di alimentazione. Se installate sistemi ad alta tensione, assicuratevi che i pannelli elettrici siano in grado di gestire quel carico iniziale. Non vorrete certo che i fusibili si spezzino durante il avvio delle macchine.
La lotta contro la contaminazione
Sappiamo tutti che anche poche particelle possono rovinare il rendimento dei wafer… è davvero un incubo. Ecco perché utilizziamo silice sintetica quasi priva di impurità metalliche. Inoltre, puliamo attentamente le lampade per eliminare i composti organici volatili. In questo modo non dovrete affrontare problemi legati alle emissioni di gas durante i primi cicli di cottura.
I connettori
Siamo molto attenti ai connettori: utilizziamo sigilli specializzati, perché una connessione difettosa rappresenta non solo un rischio elettrico, ma anche un pericolo per i wafer stessi. Se l’ossigeno entra nell’ambiente a vuoto o inerte, può danneggiare la superficie dei wafer prima ancora che ce ne accorgiamo.
Il compromesso nella pratica
Passare al riscaldamento a infrarossi riduce sicuramente il consumo energetico per ogni wafer. Questo è positivo dal punto di vista della gestione ambientale. Ma c’è un problema: le lampade a infrarossi non durano per sempre. I filamenti si evaporano nel tempo… è semplicemente una questione di fisica. Per evitare che il processo di produzione subisca interferenze, è necessario pianificare con precisione i tempi di sostituzione delle lampade. In ogni caso, non aspettate che una lampada si rompa durante una fase di produzione… buttare via un intero lotto a causa di una sola lampada rotta è un errore che si dovrebbe evitare a tutti i costi.