Riscaldatore a infrarossi di precisione per elettronica

Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800

Sulla linea di produzione, una prebake a 90°C con una deriva di ±0,5°C influirà sull’uniformità del CD e comporterà una perdita di rendimento. La temperatura non è un controllo di secondo piano: determina il comportamento del photoresist, la sua adesione e la tenuta del pattern nelle fasi successive. Quando il controllo termico si discosta, il problema si manifesta rapidamente: difetti all’ispezione e accumulo di rilavorazioni.

Cosa conta nel dettaglio
Abbiamo progettato il riscaldatore a infrarossi di precisione intorno a sorgenti NIR, trasferendo energia direttamente nel silicio e nello strato di photoresist. Sulla superficie di bake puntiamo a un’uniformità a livello wafer di ±0,1°C, e il setpoint si stabilizza in pochi secondi, non minuti. È supportata una cleanroom Class 1–100 grazie a materiali a basso rilascio di contaminanti e a un design con controllo particellare, mantenendo la generazione di particelle a zero una volta raggiunto lo stato stazionario. Il controller gestisce il budget termico in modo stabile, con ripetibilità compatibile con il controllo statistico di processo.

Elettronica on Infrared Heat Element Corporation

Riscaldatore a infrarossi di precisione per elettronica