Riscaldatore a infrarossi compatibile _con vuoto

Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800

Riduzione degli sprechi nei processi di semilavorazione: la verità sul riscaldamento a infrarossi
Se vogliamo davvero raggiungere gli obiettivi di neutralità carbonica nelle fabbriche di semiconduttori, dobbiamo smettere di sprecare tanta energia durante la fase di riscaldamento. Per molto tempo si sono utilizzati soltanto termosifoni a resistenza; ma questi dispositivi sono inefficaci.
Abbiamo quindi passato all’uso di lampade a infrarossi compatibili con l’ambiente a vuoto. Invece di cercare di riscaldare l’intera camera a vuoto – il che rappresenta uno spreco enorme di energia – queste lampade dirigono il calore direttamente sul wafer. Semplice.

Riscaldatore a infrarossi per camera a vuoto

Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800

All’interno di una sala pulita di classe 1, il wafer da 300 mm viene posizionato sulla piastra riscaldata. La regolazione della temperatura del fotoresist avviene in modo preciso, grazie all’uso di termostati che agiscono in tempi molto brevi. Un cambiamento di temperatura di 2°C sulla superficie del wafer può causare problemi gravi: gli strati di photorester possono essere danneggiati, e tutto il lavoro svolto in una settimana può andare perso. Per evitare questi problemi, abbiamo progettato un riscaldatore a infrarossi per la camera a vuoto.

Vuoto on Infrared Heat Element Corporation

Riscaldatore a infrarossi compatibile _con vuoto

Riscaldatore a infrarossi per camera a vuoto