省エネ型ウェーハヒーター

オーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が最適なのか もし今でも半導体の精密加工に熱風循環式のオーブンを使っているなら、実質的に半日を待つことに費やしていることになります。 熱風の仕組みを考えてみてください。空気を温めてから、その空気がウェーハを温めるのです。これは非効率的なプロセスです。まる...