ガラスの破片が飛び散るのを防ぎ、ウェーハを管の故障から守りましょう。 高負荷な環境下で赤外線ランプが壊れてしまった経験がある方なら、それがどれほど深刻な問題かご存知でしょう。単に機械が停止するだけではありません。周囲がめちゃくちゃになってしまいます。 石英管がシリコンウェーハの上で破裂すると、単に...

クリーンルーム用のトロリー式ヒーターの温度を適切に制御する方法 もしスマートな製造施設を構築しようとしているのであれば、完全にデータ駆動型の生産環境を実現したいと思っているはずです。しかし問題は、従来の対流式ヒーターではそのような環境を実現するのが難しいということです。加熱に時間がかかり、また空気...

破片の発生を防ぎ、ウエハーを守る 半導体製造工場では、一度でも故障が起きれば全てが台無しになってしまいます。私もそのような事態を目の当たりにしたことがあります。赤外線ランプが過度な負荷によって壊れると、単に生産が停止するだけでなく、クリーンルーム中が石英の破片や金属の粉で埋め尽くされてしまいます。...