センサー on Infrared Heat Element Corporation

ウェーハ用高精度IRセンサー

Fri, 24 Jul 2026 11:46:02 +0800

なぜウェーハ処理において強制送風方式をIR加熱に切り替えるのか
半導体処理に携わったことがある人なら、待つということがどれほどイライラするかを知っているはずです。特に、ホットエアを使ってウェーハが適切な温度になるのを待つ時間は本当に苦痛です。
問題は、強制送風方式は効率が悪いという点です。つまり、熱い空気を吹き付けて、それがウェーハに効率的に伝わることを期待するわけです。しかし、この方法では熱伝達に時間がかかり、作業の進行を妨げます。
一方、IR加熱方式では、空気を使う代わりに電磁波を使ってウェーハに直接熱を与えます。
これは、暖かい風に手を向けて温めるのと、直接火の前に立つのとの違いのようなものです。
速度の面では、IR加熱方式の方が圧倒的に優れています。空気は熱伝導性が悪いため、ファンを使っても、空気が温まるのを待ち、さらにその熱がウェーハに届くのを待たなければなりません。しかし、IRランプを使えば、エネルギーはほぼ瞬時にウェーハの表面に到達します。
つまり、準備時間を数分から数秒に短縮できるのです。24時間365日稼働する工場では、その数秒が積み重なり、より多くのウェーハを処理できるようになります。また、新しい設備やスペースを増やす必要もありません。
さらに、制御もずっと簡単になります。IRセンサーを使って、温度をリアルタイムで監視できます。古いタイプの熱電対は不格好で、物理的な接触が必要であり、反応も遅いです。一方、IRセンサーはウェーハの表面の放射率を測定するだけです。何か問題があれば、即座に出力を調整できます。
これにより、ウェーハの端が焼けてしまい、中心部分がまだ温かいという状況を避けることができます。
しかし、これは単純に「プラグインして使える」というわけではありません。注意点があります。
IR加熱方式では、非常に高い熱密度が生じます。その速さゆえに、ウェーハに過度な熱が加わり、ハードウェアにダメージを与える可能性があります。もし筐体や冷却システムが十分でなければ、ウェーハが変形したり、センサーが破損したりする可能性があります。
ですから、移行する前に、しっかりと熱管理を再計算する必要があります。
それでも、大量生産の現場では、今はこの方法が一般的です。ファンのシンプルさと引き換えに、速さを得るのです。この業界では、速さこそが全てです。

ウェハーツール用温度センサー

Fri, 24 Jul 2026 11:38:35 +0800

ウェーハの適切な加熱方法（無駄なエネルギーの消費を避けるために）
もし、製造プロセスをカーボンニュートラルにすることを目指しているのであれば、熱管理をしっかり行う必要があります。従来の方法、つまり抵抗加熱式の炉を使う方法は、まるで家全体を暖めるのに、たった一枚のピザを温めるだけのエネルギーを使っているようなものです。これは明らかな無駄遣いです。

水素センサー製造用ヒーター

Thu, 16 Jul 2026 02:41:36 +0800

IR硬化技術を用いた水素センサーの製造
水素センサーを製造する際には、熱管理が非常に重要です。もし熱管理を間違えると、膜が壊れたり、触媒が正しく固定されなくなったりします。これを適切に行い、かつ環境に優しく、鉛を含まない製品を作るために、私たちはIR硬化技術を積極的に利用しています。

スマートセンサーパッケージング赤外線

Thu, 09 Jul 2026 03:44:43 +0800

スマートな方向制御型赤外線ヒーティング：熱を必要な場所に送る私たちがスマートな赤外線ヒーティングシステムを開発したのは、単純な理由からです。それは、熱がどこに行くかを完全にコントロールできるようにするためです。スマートセンサーを梱包する際、これは部品自体を加熱することを意味します。そうすれば、プラスチック製のケースが損傷したり、作業者の指が火傷したりすることもありません。その秘訣は、方向制御型の加熱機能にあります。これにより、無駄なエネルギーの消費が防がれ、機器が過度に高温になるのも防げます。