http://ir-heat-element-corp.com/ja/tags/%E3%83%90%E3%83%83%E3%83%86%E3%83%AA%E3%83%BC/ Recent content in バッテリー on Infrared Heat Element Corporation Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 05:45:40 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/solid-state-battery-processing-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:45:40 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/solid-state-battery-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="固体電池加工用ヒーター"></p> <p>製造現場において、固体電池用ウェーハの加工工程では、温度<a href="https://goldisgood.com">変動</a>を許容する余地はありません。わずか1度の温度偏差であっても、ウェーハ全体の均一性が損なわれてしまいます。また、過度に高温で加熱すると、ウェーハの形状が崩れてしまいます。私たちは、リソグラフィーや硬化処理の際の温度を一定に保つために、赤外線を利用した加熱装置を開発しました。これにより、ロットごと、シフトごとに安定した品質が得られます。</p> <p>実際に重要なのは、確実に制御できることです。短波長の赤外線は、薄膜や基板に直接エネルギーを与えるため、迅速に加熱が行えます。また、活性領域全体での温度のばらつきは±0.1℃以内です。温度の再現性は±0.5℃であり、そのため、ソフトベイク、ハードベイク、ポストアプリケーションベイクといった各工程でも、再作業をすることなく規定値を達成できます。この装置はクラス1〜100のクリーンルームで<a href="https://o-yate.com">使用可能</a>であり、運転中に粒子が発生しないように設計されています。24時間365日の安定した運用を前提に設計されており、MTBFデータによって長期間の運用や予測可能なメンテナンスが可能になります。</p>