ドライフィルムレジストラミネーティングヒーター

ライン上で、わずかにズレたラミネーターはフォトレジストの厚さを抽選のようにしてしまいます。ブリッジトレースやサイドウォールの筋、開発後に廃棄されるウェハーでそれを目にします。我々は、その変動を排除するためにドライフィルムレジストラミネーターを設計しました。この業界では、歩留まりはナノメートルで測定...