http://ir-heat-element-corp.com/ja/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ja Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Sat, 18 Jul 2026 04:06:59 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空対応赤外線ヒーター"></p> <p>半製品の廃棄物を削減するために：IR加熱の真実<br> もし半導体工場で実際に炭素中立の目標を達成したいのであれば、加熱工程で無駄に<a href="https://goldisgood.com">消費</a>されるエネルギーをなくさなければなりません。長年にわたって、人々は従来の抵抗加熱器を使ってきました。しかし、この種の加熱器は効率が悪いのです。</p> <p>私たちは、真空環境に適した赤外線ランプに切り替えました。全体の真空チャンバーを加熱する代わりに、このランプは熱をウェーハに直接当てます。これでエネルギーや電力の無駄がなくなります。シンプルですね。</p> http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>クラス1のクリーンルーム内で、300mmウェーハがホットプレート上に置かれます。フォトレジストの硬化は、願望によってではなく、温度によって制御されます。表面の温度が2℃変動するだけで、CDの位置がずれたり、リソグラフィー層が乱れたりして、1週間分の成果が台無しになることもあります。そうした不確実性を排除するために、当社では真空チャンバー用の赤外線ヒーターを開発しました。</p>