http://ir-heat-element-corp.com/ja/tags/%E7%9F%AD%E3%81%84/ Recent content in 短い on Infrared Heat Element Corporation Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ Thu, 18 Jun 2026 04:22:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/short-wave-infrared-lamp-semiconductor/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="短波赤外線ランプ半導体"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの焼成時に0.1℃の変動があるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。これは「<a href="https://henruite.com">許容範囲</a>」というものではなく、製品として不合格となります。私たちは、このような不確実性を排除するために短<a href="https://o-yate.com">波長</a>赤外線ランプを開発しました。そうすることで、ウェーハ全体の均一性が<a href="https://goldisgood.com">保証</a>され、それは単なる期待ではなく、実際の仕様となります。</p> <p>短波長赤外線が選ばれる理由は、速くかつ低い熱インピーダンスで体積的に加熱できるからです。ピーク放射線の波長は、一般的なフォトレジストが吸収する波長と一致しているため、エネルギーはフィルム自体に届き、キャリアには届きません。その結果、150/200/300mmのサブストレート上で±0.1℃以内の均一性が得られ、焼成中の設定値の安定性も0.5℃未満です。</p>