クリーンルームの設備をアップグレードする工場

破片の発生を防ぎ、ウエハーを守る 半導体製造工場では、一度でも故障が起きれば全てが台無しになってしまいます。私もそのような事態を目の当たりにしたことがあります。赤外線ランプが過度な負荷によって壊れると、単に生産が停止するだけでなく、クリーンルーム中が石英の破片や金属の粉で埋め尽くされてしまいます。...