http://ir-heat-element-corp.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%B1%8B%E5%AE%A4/ Recent content in 部屋、室 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>クラス1のクリーンルーム内で、300mmウェーハがホットプレート上に置かれます。フォトレジストの硬化は、願望によってではなく、温度によって制御されます。表面の温度が2℃変動するだけで、CDの位置がずれたり、リソグラフィー層が乱れたりして、1週間分の成果が台無しになることもあります。そうした不確実性を排除するために、当社では真空チャンバー用の赤外線ヒーターを開発しました。</p>