http://ir-heat-element-corp.com/ja/tags/%E9%9B%BB%E7%90%83/ Recent content in 電球 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 06:06:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ Fri, 19 Jun 2026 06:06:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="安価なウェーハ乾燥用ランプの電球"></p> <p>製造現場では、1回の焼成工程で仕様を外れるだけで、<a href="https://goldisgood.com">大量</a>のウェーハが不良品になってしまいます。温度の均一性が失われ、フォトレジストの特性も変わり、結果として歩留まりが低下します。私たちは、こうした問題を未然に防ぐために、低コストなウェーハ乾燥用ランプを開発しました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> これは、安定した石英ケースと適切なフィラメントを持つNIRランプです。そのため、ウェーハの乾燥やフォトレジストのソフトベイク、ハードベイクの際にも、出力が安定します。スペクトルプロファイルによって、エネルギーがレジストが吸収する部分に集中し、<a href="https://o-yate.net">基板</a>が冷たく保たれます。ホットゾーンの均一性は±0.1℃以内であり、クラス1～100のクリーンルーム内では粒子の発生もほとんどありません。5,000時間以上使用しても出力の低下は5％未満です。</p>