http://ir-heat-element-corp.com/ja/tags/mems-%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E9%9B%BB%E6%B0%97%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E3%82%B7%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%A0/ Recent content in MEMS マイクロ電気機械システム on Infrared Heat Element Corporation Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ja/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS製造赤外線ヒーター"></p> <p>MEMSラインでは、温度変動は単なるパラメータではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。リソグラフィにおいて、ソフトベイクやハードベイクの温度が0.1度の一部でもずれると、ウェハ上のクリティカル寸法はばらつき、トラックを離れる前にデバイスが廃棄される。私たちはこの現実に対応するために赤外線ヒーターを設計した。</p>