http://ir-heat-element-corp.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ko Fri, 19 Jun 2026 06:06:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ Fri, 19 Jun 2026 06:06:43 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구"></p> <p>생산 현장에서는, 단 한 번의 굽기 과정에서도 기준을 벗어나면 전체 생산량에 영향을 미칩니다. 온도의 균일성이 저하되고, 포토레지스트의 성질도 변하며, 그로 인해 생산 효율도 떨어집니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 저비용의 웨이퍼 건조용 램프를 개발했습니다.</p> http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="OLED 제조용 건조 램프"></p> <h1 id="oled-라인에서-건조는-멈춤이-아니다-제어-지점이다">OLED 라인에서 건조는 멈춤이 아니다. 제어 지점이다.</h1> <p>웨이퍼는 린스 후 나와서 리소그래피 전에 안정된 표면 상태여야 한다. 포토레지스트를 충분히 건조하지 않으면 엣지 비드가 형성되고, 이후 정렬 오버레이가 드리프트하기 시작한다. 베이크가 고르지 않으면 선폭 분포가 넓어져 수율이 떨어진다. 이러한 변수를 제거하기 위해 적외선 건조 램프를 설계했다.<br> <strong>기술적으로 중요한 점</strong><br> 단파 적외선 방출체와 빠른 응답 속도의 필라멘트, 그리고 석영 광학계를 사용해 에너지를 포토레지스트층에 직접 전달한다. 시스템은 베이크 영역 전체에서 웨이퍼 수준의 온도 균일도를 ±0.1°C 이내로 유지하여 열 예산이 로트별로 일정하게 유지되도록 한다.<br> 소프트 베이크 프로파일은 엄격한 허용오차 내에서 반복 가능하며, 하드 베이크의 전환 구간도 과도하게 넘어가지 않고 깔끔하게 진행된다. 클린룸 호환성을 고려해 저발포성 소재, 밀폐된 하우징, 제어된 공기 흐름 경로를 적용해 입자 발생을 거의 제로 수준으로 억제한다.<br> <strong>OLED에 적합한 이유</strong><br> OLED 적층은 얇고 민감하며, 일정 준수가 필수적이다. 램프는 건조 및 베이크 시간을 단축시키면서 프로파일을 유지하여 사이클 타임이 줄어들어도 필름 두께 제어에는 영향을 미치지 않는다.<br> 필요한 부위에만 열을 집중시켜 챔버 벽면으로의 열 손실을 줄이고 에너지 소비를 절감한다. 신뢰성은 가동 시간에 달려 있는데, 장치는 5,000시간 이상 구동해도 출력 저하가 5% 미만으로 유지되고 가동 중단 및 예방 교체를 최소화한다.<br> <strong>알아야 할 점</strong><br> 설치는 램프의 투사 면적과 트랙 포트를 일치시키고, 조사 강도 프로파일을 웨이퍼 크기에 맞게 정렬하는 것이 핵심이다. 램프 출력은 간격에 민감하며, 권장 간격을 벗어나면 균일도에 영향이 있다.<br> 레시피 조정을 위한 짧은 시운전이 필요하며, 초기 보정 후에는 정기적인 계측 점검만으로 공정이 안정적으로 유지된다.</p>