http://ir-heat-element-corp.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88/ Recent content in 모듈 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="구역별 적외선 가열 모듈"></p> <p>리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 가열할 때 0.2°C만의 온도 변동이라도 회로선의 선관경 제어를 망가뜨리고 생산 효율을 떨어뜨릴 수 있습니다. 기존의 히팅 판들은 열적 한계 내에서 웨이퍼 전체의 온도 균일성을 유지하려고 노력합니다. 하지만 구역별 적외선 가열 방식이라면 이 문제를 간단히 해결할 수 있습니다.</p>