http://ir-heat-element-corp.com/ko/tags/%EC%A0%84%EC%9E%90%EA%B3%B5%ED%95%99/ Recent content in 전자공학 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/precision-infrared-heater-for-electronics/ Thu, 04 Jun 2026 03:37:46 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/precision-infrared-heater-for-electronics/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="전자 기기를 위한 정밀 적외선 히터"></p> <h1 id="공정에서의-사전-베이킹">공정에서의 사전 베이킹</h1> <p>90°C에서 ±0.5°C의 편차로 사전 베이킹을 수행하면 CD 균일성이 저하되고 수율에 영향을 미치게 됩니다. 온도는 배경 조절 장치가 아니라 포토레지스트의 동작 방식, 부착 방식, 그리고 패턴이 후속 공정에서 유지되는지의 여부를 정의합니다. 열 제어가 불안정해지면, 결함이 검사에서 빠르게 나타나고 재작업이 쌓이게 됩니다.</p>