http://ir-heat-element-corp.com/ko/tags/%ED%9A%8C%EC%9D%98%EC%8B%A4/ Recent content in 회의실 on Infrared Heat Element Corporation Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ko/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="진공 챔버용 적외선 히터"></p> <p>1등급 클린룸 내에서, 300mm 웨이퍼가 가열판 위에 놓입니다. 포토레지스트의 건조는 인위적인 조절이 아닌 온도에 의해 이루어집니다. 표면 온도가 2°C만 변해도 CD의 형태가 변하거나 리소그래피 층이 손상될 수 있으며, 그로 인해 일주일 치의 작업 성과가 사라질 수 있습니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 진공 챔버용 적외선 히터를 개발했습니다.</p>