Mari kita bincangkan tentang penggunaan pemanas inframerah jenis UHP untuk kilang anda. Kami mencipta lampu pemanas jenis Ultra High Purity (UHP) kerana kami tahu betapa sukar proses pemprosesan wafer, di mana setiap peratusan hasil yang diperoleh sangat penting. Kini, semua orang berusaha untuk mencapai standard “Kilang Hijau”. Namun bagi kami, cara ini lebih mudah. Menggunakan pemanasan inframerah berbanding pemanasan resistif merupakan langkah yang logik – ia dapat mengurangkan pembaziran tenaga.
Masalah dengan kaedah lama
Bayangkanlah tungku pemanas resistif biasa. Ia ibarat cuba memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan secawan kopi sahaja; banyak tenaga terbuang untuk memanaskan dinding tungku tersebut. Lampu UHP kami tidak melakukan hal yang sama. Ia memanaskan permukaan wafer secara langsung. Dengan fokus tenaga pada panjang gelombang tertentu, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi lebih singkat. Mesin-mesin juga akan menghabiskan masa yang lebih sedikit untuk “berdiam diri”, dan lebih banyak masa untuk berfungsi sebenar. Ini bermakna jejak haba yang dihasilkan juga lebih rendah.
Namun, perlu diingat bahawa kepadatan tenaga yang tinggi memang bagus untuk kelajuan proses, tetapi ia memberi tekanan yang besar pada sistem bekalan kuasa. Jika anda menggunakan sistem voltan tinggi, pastikan panel elektrik anda mampu menangani lonjakan kuasa tersebut. Anda tentu tidak mahu berlaku gangguan bekalan kuasa semasa proses pemulaan.
Perjuangan melawan kontaminasi
Kita semua tahu bahawa sedikit saja zarah tercemar boleh merosakkan hasil pengeluaran. Itu merupakan masalah yang serius. Itulah sebabnya kami menggunakan silika sintetik yang hampir bebas daripada kekotoran logam. Kami juga membersihkan lampu tersebut untuk menghilangkan bahan organik volatil (VOCs). Dengan cara ini, anda tidak perlu risau tentang masalah pelepasan gas semasa proses pemurnian awal.
Bagaimana pula dengan sambungan lampu tersebut? Kami sangat teliti dalam hal ini. Kami menggunakan sambungan khas agar tidak berlaku kebocoran. Jika oksigen masuk ke dalam persekitaran vakum atau inert, ia akan merosakkan permukaan wafer sebelum anda sempat menyedarinya.
Kompromi dalam penggunaan IR
Menggunakan pemanas inframerah memang dapat mengurangkan penggunaan tenaga per wafer. Namun, lampu IR ini tidak akan bertahan selamanya. Filamen lampu akan cair seiring waktu. Itu merupakan hukum fizik. Untuk memastikan proses berjalan lancar, anda perlu sentiasa memeriksa jadual penggantian lampu tersebut.
Apa pun yang anda lakukan, jangan tunggu sehingga lampu rosak di tengah-tengah proses pengeluaran. Membuang keseluruhan produk kerana satu lampu yang rosak merupakan kesilapan yang tidak sepatutnya berlaku.