http://ir-heat-element-corp.com/ms/tags/modul/ Recent content in Modul on Infrared Heat Element Corporation Hugo ms Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ms/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ms/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Modul pemanasan inframerah berzon"></p> <p>Di bawah proses litograf, perubahan suhu sebanyak 0.2°C semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk merosakkan kawalan ketebalan garis pada permukaan wafer, dan seterusnya menurunkan kadar pengeluaran yang berkualiti. Kaedah pemanasan konvensional mempunyai kesukaran untuk mengekalkan keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer sambil tetap berada dalam julat suhu yang ditetapkan. Penggunaan sistem pemanasan inframerah yang terbahagi kepada zon-zon merupakan penyelesaian yang efektif.</p> <p><strong>Apa yang penting di sebaliknya</strong><br> Modul IR yang digunakan ini menggunakan unsur-unsur NIR yang dikawal secara berasingan untuk mengawal suhu di setiap zon, sekali gus membetulkan perbezaan suhu antara bahagian tepi dan bahagian tengah wafer. Ini memastikan keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C di seluruh permukaan wafer, serta memastikan kestabilan suhu yang tinggi agar proses pemanasan dapat berjalan dengan sempurna. Perangkat keras ini direka khusus untuk digunakan dalam bilik bersih darjah 1–100: bahan-bahan yang menghasilkan gas yang sedikit, komponen optik yang tertutup rapat, serta reka bentuk yang membantu mengurangkan kehadiran zarah-zarah di udara. Anda boleh mengharapkan tiada penghasilan zarah semasa proses pemanasan, serta kestabilan suhu jangka panjang yang memastikan kualiti produk tetap konsisten.</p>