http://ir-heat-element-corp.com/nl/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Heat Element Corporation Hugo nl Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/nl/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/nl/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS fabricage infraroodverwarmer"></p> <p>Op de MEMS-lijn is temperatuurvariatie niet zomaar een parameter, het is een opbrengstreducent. Bij lithografie, als je soft bake of hard bake ook maar een fractie van een graad afwijkt, spreid je kritieke afmetingen over de wafer en scrap je apparaten nog voordat ze de lijn verlaten. Wij hebben onze infraroodverwarmer voor die realiteit ontwikkeld.</p> <p>Wat telt is herhaalbare warmte, nauwkeurig geleverd. Onze kortegolf-infrarood emitterarray brengt energie direct en snel in de wafer, zodat thermische vertraging minimaal blijft. Over de hete zone handhaven we wafer-uniformiteit binnen ±0,1°C, zodat elke fotoresist-bak binnen het thermisch budget blijft zonder randafwijkingen.</p>