http://ir-heat-element-corp.com/pt/tags/c%C3%A2mara/ Recent content in Câmara on Infrared Heat Element Corporation Hugo pt Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/pt/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:54 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/pt/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Aquecedor infravermelho para câmara de vácuo"></p> <p>Na sala limpa de classe 1, uma wafer de 300 mm é colocada sobre a placa quente. O fotoreativo é ajustado de acordo com a temperatura, e não por meio de suposições. Uma variação de 2°C na superfície pode afetar negativamente o processo de litografia, causando perdas significativas de produção. Por isso, desenvolvemos um aquecedor infravermelho para a câmara de vácuo, a fim de eliminar essa incerteza no processo.</p> <p><strong>O que é importante no funcionamento do equipamento</strong><br> O aquecedor utiliza emissores de quartzo de onda curta para fornecer calor radiante direto, com resposta em milissegundos. Na área ativa da câmara, a uniformidade de temperatura fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes ciclos de <a href="https://o-yate.net">tratamento</a> é de 0,05°C. O corpo da câmara é feito de aço inoxidável 316L, eletropolido, o que reduz a emissão de gases. A câmara consegue manter um vácuo de até 10^-6 mbar. Sua construção compatível com salas limpas garante que não haja geração de partículas, mesmo após 5.000 horas de funcionamento a 250°C. A termometria integrada e o controle em ciclo fechado permitem manter a temperatura estável durante os processos de tratamento.</p>