http://ir-heat-element-corp.com/pt/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Heat Element Corporation Hugo pt Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/pt/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/pt/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Aquecedor infravermelho fabricado por MEMS"></p> <p>Na linha MEMS, a variação de temperatura não é apenas um parâmetro — é um fator que reduz o rendimento. Na litografia, se o soft bake ou hard bake variar mesmo que uma fração de grau, você espalha as dimensões críticas pela pastilha e descarta dispositivos antes mesmo deles saírem da linha. Nosso aquecedor infravermelho foi desenvolvido para essa realidade.</p> <p>O que importa é calor repetível, entregue de forma limpa. Nosso arranjo de emissores infravermelhos de onda curta deposita energia diretamente na pastilha, rapidamente, mantendo o atraso térmico no mínimo. Na zona quente, mantemos a uniformidade ao nível da pastilha dentro de ±0,1°C, garantindo que cada bake de fotoresiste atinja o orçamento térmico sem picos nas bordas.</p>