Lâmpada de secagem para fabricação de OLED

Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800

Na linha OLED, a secagem não é uma pausa. É um ponto de controle.
Os wafers saem do enxágue e precisam de uma superfície estável antes da litografia. Se o fotoresiste secar abaixo do ideal, ocorre edge bead, e o alinhamento começa a variar. Se a cura for desigual, a distribuição da largura de linha se dispersa—o rendimento diminui. Projetamos nossas lâmpadas de secagem por infravermelho para eliminar essa variabilidade do processo.

O que importa, tecnicamente
Utilizamos emissores de infravermelho de ondas curtas com filamentos de resposta rápida e óptica de quartzo, direcionando energia diretamente para a camada de fotoresiste. O sistema mantém uniformidade de temperatura ao nível do wafer dentro de ±0,1°C em toda a área de cura, garantindo que o orçamento térmico permaneça constante de lote para lote.
Perfis de soft bake se repetem dentro de uma janela estreita, e as transições de hard bake são limpas—sem overshoot. A compatibilidade com sala limpa é integrada: materiais de baixa liberação de gases, invólucros selados e caminhos de fluxo de ar controlados mantêm a geração de partículas próxima de zero.

OLED on Infrared Heat Element Corporation

Lâmpada de secagem para fabricação de OLED