Lâmpada de aquecimento do analisador térmico

Sun, 21 Jun 2026 06:23:41 +0800

No chão de fábrica, uma variação de 1°C durante o processo de cozimento suave já é suficiente para causar alterações nas dimensões críticas do componente, em termos de nanômetros. Isso não é algo que possa ser tolerado – afeta diretamente a qualidade do produto final. Por isso, ao realizar processos térmicos, não queremos arriscar. Precisamos de precisão, e é exatamente isso que essa lâmpada de aquecimento permite.

O que é importante, tecnicamente
O sistema utiliza lâmpadas infravermelhas de onda curta, com elementos de quartzo de resposta rápida. Assim, o calor é direcionado diretamente para a superfície do filme e do wafer. A uniformidade de temperatura em toda a superfície do substrato fica dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade entre as diferentes operações também é muito alta. Em ambientes de classe 1–100, a montagem da lâmpada é projetada para evitar a geração de partículas, graças a ópticos selados e a um sistema de baixa emissão de gases. A lâmpada funciona 24/7, com controle preciso da temperatura, e já funcionou por mais de 5.000 horas, com menos de 5% de redução na sua eficiência.

Térmico on Infrared Heat Element Corporation

Lâmpada de aquecimento do analisador térmico