Прекратите использовать обычные лампы для нагрева оборудования: существует более эффективный способ управления тепловым потоком.
На производствах полупроводников постоянно возникает проблема: необходимо нагреть пластину, но при этом не хочется превращать всю машину в настоящую печь.
Большинство стандартных инфракрасных ламп излучают тепло во все стороны. Это расточительно. К тому же это приводит к тому, что внутренние поверхности оборудования становятся своего рода «радиаторами». Если вы когда-либо видели, как техник чуть не обожгл руку из-за высокой температуры корпуса оборудования, вы понимаете, о чем я говорю.
Наше решение — использование кварцевых ламп с золотым покрытием.
Как это работает
Золотое покрытие можно считать своего рода зеркалом для тепла. Вместо того чтобы позволить инфракрасной энергии распространяться обратно в корпус, золото отражает её вперед. Таким образом, вся энергия направляется на саму пластину. Это устраняет эффект «печи» внутри оборудования. Вы все равно получаете необходимую скорость нагрева пластины, но остальное оборудование остается прохладным на ощупь. Это гораздо более эффективный способ работы.
Ограничения, на которые следует обратить внимание
Это не волшебство. Для достижения требуемой температуры используются кварцевые лампы с высокой мощностью. Поскольку вся энергия направляется вперед, сама лампа может стать очень горячей. Необходимо убедиться, что вентиляторы способны справиться с такой нагрузкой. Если объем воздуха будет недостаточным, это может привести к повреждению кварца или электродов.
Как правильно установить лампы
При монтаже самое важное — правильная настройка положения лампы. Если лампа расположена не совсем верно, тепло будет направляться не на пластину, а на стенки камеры. Используйте точные крепления. Не полагайтесь только на приблизительную оценку.
Хорошая новость заключается в том, что эти лампы могут заменить старые. Поскольку тепло сосредотачивается в одной точке, возможно, потребуется уменьшить мощность внешнего охлаждения.
Еще один совет: сохраняйте чистоту золотого покрытия. Несколько отпечатков пальцев или грязь на поверхности могут создать «точки перегрева». Это может сократить срок службы лампы. Сохраняйте поверхность чистой, и лампа будет служить долго.