http://ir-heat-element-corp.com/ru/tags/%D0%BC%D0%B5%D0%BC%D1%81/ Recent content in МЕМС on Infrared Heat Element Corporation Hugo ru Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ru/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:53:19 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ru/posts/mems-fabrication-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ИК излучатель изготовленный с использованием микроэлектромеханических систем (МИМС)"></p> <p>На линии MEMS вариации температуры — это не просто параметр, а фактор снижения выхода годных изделий. В литографии, если мягкая или жесткая сушка смещается даже на долю градуса, это ведет к разбросу критических размеров по пластине и браку изделий еще до выхода с линии. Наш инфракрасный нагреватель был разработан с учетом этого требования.</p> <p>Важна воспроизводимая тепловая подача, без примесей. Массив коротковолновых инфракрасных излучателей направляет энергию прямо на пластину быстро, сводя к минимуму тепловое запаздывание. В горячей зоне обеспечивается равномерность на уровне пластины с точностью ±0,1°C, что гарантирует стабильное соблюдение теплового режима для каждого этапа сушки фоторезиста без перегрева по краям.</p>