http://ir-heat-element-corp.com/ru/tags/%D0%BC%D0%BE%D0%B4%D1%83%D0%BB%D1%8C/ Recent content in Модуль on Infrared Heat Element Corporation Hugo ru Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ru/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/ru/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Модуль инфракрасного обогрева с зонированием"></p> <p>На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в размере 0,2°C во время процедуры обжига фоторезиста может нарушить точность контроля ширины линий и снизить качество изделий. Традиционные нагревательные устройства пытаются сохранить однородность температуры по всей поверхности пластины, при этом соблюдая заданные тепловые параметры. Решением является использование зонированного инфракрасного нагрева.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong> Наш модуль зонированного инфракрасного нагрева использует независимо контролируемые элементы для регулирования температуры в отдельных зонах, что позволяет корректировать перепады температуры от краев к центру в реальном времени. Благодаря этому достигается однородность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности пластины. Также обеспечивается высокая точность установки температуры, что позволяет соблюдать все требования к процедуре обжига. Оборудование разработано для использования в чистых комнатах класса 1–100: используются материалы с низким уровнем выбросов газов, герметичные оптические элементы, а также конструкция, минимизирующая появление частиц. При этом можно ожидать отсутствия частиц во время процедуры обжига, а также долгосрочной тепловой стабильности, что способствует поддержанию стабильности размеров изделий.</p>