โคมไฟอบแห้งสำหรับการผลิต OLED

Sat, 06 Jun 2026 04:03:56 +0800

On the OLED line, drying isn’t a pause. It’s a control point.
แถวการผลิต OLED การอบแห้งไม่ใช่จุดหยุดชั่วคราว แต่เป็นจุดควบคุม

Wafers come out of rinse and need a stable surface before lithography. Under-dry the photoresist and you get edge bead, then overlay starts drifting. Bake unevenly and linewidth distribution spreads out—yield walks away. We built our infrared drying lamps to knock that variability out of the process.
หลังจากที่แผ่นเวเฟอร์ผ่านกระบวนการล้าง จะต้องมีพื้นผิวที่เสถียรก่อนขั้นตอนลิโทกราฟี หากอบแห้งฟิล์มโฟโตเรซิสต์ไม่เพียงพอจะเกิดขอบฟิล์มหนา (edge bead) ทำให้การจัดตำแหน่งเลเยอร์เลื่อนไหลไป ขณะที่การอบไม่สม่ำเสมอจะส่งผลให้ความกว้างเส้นฟิล์มแปรผัน ส่งผลต่ออัตราผลิตที่ลดลง เราจึงออกแบบหลอดอบแห้งอินฟราเรดเพื่อกำจัดความผันผวนในกระบวนการนี้

What matters, technically
สิ่งที่สำคัญในทางเทคนิค

We run short-wave infrared emitters with fast-response filaments and quartz optics, dumping energy straight into the photoresist layer. The system holds wafer-level temperature uniformity within ±0.1°C across the bake field, so the thermal budget stays consistent lot to lot.
เราใช้เครื่องปล่อยคลื่นอินฟราเรดระยะสั้นที่มีไส้หลอดตอบสนองเร็วและเลนส์ควอตซ์ เพื่อส่งพลังงานตรงเข้าสู่ชั้นโฟโตเรซิสต์ ระบบควบคุมอุณหภูมิที่เวเฟอร์รักษาความสม่ำเสมอได้ภายใน ±0.1°C ทั่วพื้นที่อบ ทำให้งบประมาณพลังงานความร้อนคงที่ในแต่ละชุดผลิต

ออร์แกนิกไลท์ เอ็มิทติ้งไดโอด (OLED) on Infrared Heat Element Corporation

โคมไฟอบแห้งสำหรับการผลิต OLED