Wafer’ınızı Doğru Şekilde Isıtmak (Enerji Kaybı Olmadan)
Eğer fabrikanızı karbonsuz hale getirmeye çalışıyorsanız, termal bütçenizi dikkate almanız gerekiyor. Eski yöntemler – yani dirençli fırınlar kullanmak – aslında tüm evi ısıtarak sadece bir pizzanın ısınmasını sağlamak gibidir. Bu da büyük bir enerji israfıdır.
İşte bu yüzden kısa dalga boylu IR ısıtıcıları kullanmaya başladık. Bu ısıtıcılar tüm odayı ısıtmak yerine doğrudan wafer’in yüzeyini ısıtır. Basit ve verimlidir.
Hızlı Termal İşleme Tekniğinin Faydaları
Bu IR ısıtıcılar çok güçlüdür. Kuvars kapsüller içinde bulunan halojen filamentler sayesinde saniyeler içinde 1.000°C’ye kadar ısı üretebilirler. Bu çok hızlıdır. Ve bu durum her şeyi değiştirir. Uzun süre beklemek zorunda kalmazsınız; böylece wafer’leriniz daha hızlı işlenir ve karbon ayak iziniz azalır. Ayrıca, ısıtıcıların wafer malzemenizin emilim spektrumuyla uyumlu olmasına da özen gösteriyoruz. Aksi takdirde enerji yüzeyden geri seker ve yine enerji israfı olur.
Her Şeyi Yakından İzlemek
Bir IR ısıtıcının performansı, onu kontrol eden sistemlere bağlıdır. Dikkatli olmazsanız ya wafer’i yeterince ısıtamazsınız ya da daha kötüsü, onu yakarsınız. Bunu önlemek için yüksek hızlı pirometreler kullanıyoruz. Bu sensörler termal radyasyonu gerçek zamanlı olarak izler ve PID kontrol cihazıyla iletişim kurar. Sistem her birkaç milisaniyede bir küçük ayarlamalar yapar. Böylece sıcaklık kontrol altında tutulur.
Gerçek Dünyadaki Tercihler
Elbette her şey mükemmel değil. Yüksek güçlü IR sistemleri elektrik şebekesine ciddi bir yük getirir. Temiz bir elektrik kaynağına ihtiyacınız vardır. Eğer elektrik kesintileri olursa, wafer’de sıcaklık dalgalanmaları meydana gelir ve bu da kalite kontrolü açısından büyük bir sorundur. Ayrıca yüksek enerji yoğunluğu nedeniyle soğutma sistemlerinin mükemmel olması gerekir. Eğer soğutma sistemi arızalanırsa, ısıtıcılar aşırı ısınarak zarar görür.
Ama iyi haber şu ki: Bu cihazları “hemen kullanılabilir” şekilde tasarladık. Bir ısıtıcı sonunda arızalanırsa, onu değiştirmeniz yeterlidir. Tüm cihazı söküp yeniden kurmanıza gerek yoktur. Böylece üretim süreci devam eder, enerji maliyetleriniz düşer ve yeşil sertifikalarınız korunmuş olur.