http://ir-heat-element-corp.com/tr/tags/mod%C3%BCl/ Recent content in Modül on Infrared Heat Element Corporation Hugo tr Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/tr/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 25 Jun 2026 04:50:25 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/tr/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Bölgesel kızılötesi ısıtma modülü"></p> <p>Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,2°C’lik bir değişiklik bile hat genişliğinin kontrolünü bozabilir ve bö<a href="https://goldisgood.com">ylece</a> verimliliği olumsuz etkileyebilir. Geleneksel ısıtma sistemleri, termal sınırlar içinde kalarak wafer üzerindeki sıcaklık homojenliğini korumaya çalışır. Bölgesel kızılötesi ısıtma ise bu sorunu çözen basit bir yöntemdir.</p> <p><strong>Arka planda neler önemli?</strong><br> Kullandığımız bölgesel kızılötesi modül, ayrı ayrı kontrol edilebilen NIR elemanlar kullanarak sıcaklığı farklı bölgelerde ölçer ve kenarlardan merkeze doğru olan sıcaklık farklarını anında düzeltir. Böylece wafer üzerinde ±0,1°C tutarında bir sıcaklık homojenliği sağlanır. Ayrıca, kritik ısıtma adımlarının standartlara uygun şekilde gerçekleştirilmesi sağlanır. Bu donanım, Temiz Oda Sınıfı 1–100 için tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı yapan malzemeler, mühürlenmiş optik elemanlar ve parçacıkları en aza indirmek için özel olarak tasarlanmış bir yapı vardır. Isıtma sırasında hiçbir parçacık oluşmaz ve uzun vadeli termal stabilite sayesinde kritik boyutlar sabit kalır.</p>