http://ir-heat-element-corp.com/tr/tags/odas%C4%B1/ Recent content in Odası on Infrared Heat Element Corporation Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/tr/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 08:50:55 +0800 http://ir-heat-element-corp.com/tr/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element-corp.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Vakum odası kızılötesi ısıtıcı"></p> <ol> <li>sınıf temiz oda koşullarında, 300 mm’lik waferyerler sıcak plaka üzerine yerleştirilir. Foto direnç değerleri, isteğe bağlı olarak değil, sıcaklık kontrolüyle belirlenir. Yüzeydeki 2°C’lik bir değişiklik bile CD’<a href="https://o-yate.net">lerin</a> konumunu değiştirebilir, <a href="https://henruite.com">litografi</a> katmanlarını bozabilir ve bir haftalık işin sonucunu yok edebilir. Bu tür <a href="https://o-yate.com">tahmin</a> hatalarını ortadan kaldırmak için vakum odasına kızılötesi ısıtıcılar ekledik.</li> </ol> <p><strong>İç yapının önemi</strong><br> Isıtıcı, milisaniyeler içinde tepki verebilen kısa dalga quartz yayıcıları kullanır. Aktif alan boyunca wafere uygulanan sıcaklık düzgünlüğü ±0,1°C seviyesindedir ve her işlem arasındaki tekrarlanabilirlik ise 0,05°C’dır. Oda gövdesi, gaz salınımını azaltmak için elektropolizasyonla işlenmiş 316L paslanmaz çelikten yapılmıştır ve 10^-6 mbar seviyesine kadar vakum altında çalışabilir. Temiz oda standartlarına uygun yapı sayesinde, 250°C’de 5.000 saat çalıştıktan sonra bile parçacık üretimi sıfır seviyesinde kalır. Entegre pirometri ve kapalı döngü kontrol sistemi sayesinde, yumuşak ve sert pişirme işlemleri sırasında ayar noktaları sabit tutulur.</p>