На поверхні плати може виникнути зміна температури на 0,1°C під час процедури нагрівання фотополімеру. Це призводить до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів. Це не є допустимою похибкою – це просто втрата продукту. Ми створили лампи короткочастотного інфрачервоного випромінювання для того, щоб усунути цю невизначеність. Таким чином, однорідність на рівні пластини є обов’язковою характеристикою, а не просто бажаним результатом.
Ядром ламп є короткочастотне інфрачервоне випромінювання – його обрали через швидке нагрівання та низьку теплову інерцію. Пік випромінювання збігається з діапазоном поглинання фотополімеру, тож енергія потрапляє безпосередньо в фільм, а не в носії енергії. Це забезпечує однорідність на рівні пластини в межах ±0,1°C для підкладок розміром 150/200/300 мм. Стабільність температури під час процедури нагрівання становить менше 0,5°C.
Кварцовий корпус та геометрія відбивача спрямовані на мінімізацію утворення частинок, тож кількість частинок у чистій кімнаті залишається стабільною в класах 1–100. Життєвий цикл лампи становить понад 5 000 годин, при цьому зниження інтенсивності випромінювання становить менше 5%.
У літографічних установках це означає можливість більш точного контролю температури під час процедури нагрівання, меншу кількість дефектів та можливість точного контролю розмірів. Швидкі цикли нагрівання та охолодження підвищують продуктивність без додаткових витрат енергії. Використання енергії зменшується, оскільки лампа нагріває сам об’єкт, а не всю камеру навколо нього.
Надійність ламп забезпечується їх можливістю безперервної роботи 24/7. Модулі можна замінювати без зупинки обладнання.
Встановлення ламп є простим на стандартних підставках, але необхідно звертати увагу на оптичну налаштуваність та захист від електромагнітних перешкод поблизу чутливих елементів. Необхідно також підключити лампи до існуючих систем контролю температури та захисту, а потім перевірити параметри нагрівання з урахуванням особливостей фотополімеру.
Необхідно також регулярно перевіряти відбивачі та чистити кварцовий корпус. Це дозволяє зберігати однорідність протягом багатьох років, а не лише кількох кварталів.